涂覆间和涂覆方法.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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涂覆间和涂覆方法.pdf

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本发明涉及涂覆间和涂覆方法。涂覆间包括：涂覆室，在该涂覆室中，通过涂覆装置在被涂覆物上进行涂覆；供气室，该供气室被置于涂覆室的上方；以及回收室，该回收室被置于涂覆室的下方。涂覆室被构造成使得：从供气室朝向回收室的空气流过在涂覆室的内部的预定区域，该预定区域包括用于被涂覆物的通过区域；并且从供气室朝向回收室的空气不流过在涂覆室的内部的预定区域外侧区域。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112604891 A (43)申请公布日 2021.04.06 (21)申请号 202010742976.1 (22)申请日 2020.07.29 (30)优先权数据 2019-1839