用于激光剥蚀池的盖体、激光剥蚀装置.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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用于激光剥蚀池的盖体、激光剥蚀装置.pdf

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一种用于激光剥蚀池的盖体，该盖体包括：主体部，被构造成可转动地密封覆盖激光剥蚀池的开口，包括与激光剥蚀池的开口结合的外边缘，并设有第一通孔；以及窗口组件，设置在盖体的第一通孔中并包括氟化钙玻璃片，激光透过氟化钙玻璃片照射到激光剥蚀池内，以实现对设置在激光剥蚀池内的目标的剥蚀；其中，氟化钙玻璃片在垂直于由开口限定的平面的方向上的投影位于开口内并至少覆盖开口的几何中心到开口的任意内边缘之间的区域。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114609229 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202210250255.8 (22)申请日 2022.03.10 (71)申请人中国科学技术大学地址 23002