一种类金刚石薄膜的制备方法.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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一种类金刚石薄膜的制备方法.pdf

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本申请公开了一种类金刚石薄膜的制备方法，所述类金刚石薄膜的制备方法包括如下步骤：衬底制备，将硅衬底表面利用除垢剂和酒精擦拭，减少硅衬底表面的脏污；置入样品，将处理后的样品和衬底放置在固定架上固定；试剂配制；试剂检验，取出制备容器内部的试剂进行检验，对试剂内部的各离子含量进行检测，对不合格的试剂进行调配；电压辅助；薄膜制备。对台区损耗特征的分析，筛选出主要电参数和非电器特征参数；对衬底和样品进行预处理，减少制备时的干扰，提高制备效果；固定架上可稳定放置衬底和样品，保持衬底和样品的连接，试剂浸没样品

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114606546 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202210246705.6 (22)申请日 2022.03.14 (71)申请人苏州科国智新材料科技有限公司地址