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本发明公开了一种具有混合P型材料欧姆阴极的横向肖特基势垒二极管，包括：从下至上依次层叠设置的衬底、成核层、缓冲层、沟道层、势垒层、帽层；其中，帽层的右上方设有一P型阴极岛结构；P型阴极岛结构的右侧和器件的左侧分对应设置有阴极凹槽和阳极凹槽；阴极凹槽内的沟道层上设置阴电极，P型阴极岛结构上表面设有阴极板，阴极板与阴电极相连接，以形成混合P型材料欧姆阴极；阳极凹槽内的沟道层上设置有阳电极；在帽层上表面，凹槽阳极附近一定长度范围内设置有与阳电极相连的阳极场板；阳极场板与P型阴极岛之间的帽层上覆盖有一层
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114597266 A
(43)申请公布日 2022.06.07
(21)申请号 202210037578.9
(22)申请日 2022.01.13
(71)申请人 西安电子科技大学
地址 71000
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