一种柔性金刚石薄膜制备的工艺方法.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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一种柔性金刚石薄膜制备的工艺方法.pdf

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本发明公开了一种柔性金刚石薄膜制备的工艺方法，所述工艺方法包括如下步骤：基板制备、过渡层制备、柔性薄膜制备、金刚石薄膜制备和金刚石薄膜处理。该方法的有益效果是：该种工艺方法适用于柔性金刚石薄膜的制备，将金刚石薄膜通过化学气相沉积法沉积在柔性薄膜表面，能够制得具有一定柔性的金刚石薄膜，同时能够保证金刚石薄膜与柔性金属薄膜的有效吻合，提高薄膜的使用寿命，且能够进行柔性金属薄膜两面进行沉积金刚石薄膜，有利于提高金刚石薄膜的使用性能，使柔性金刚石薄膜适用于特殊场所使用，提高金刚石薄膜的适用范围，通过对金

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114606475 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202210246700.3 (22)申请日 2022.03.14 (71)申请人苏州科国智新材料科技有限公司地址