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- 2023-05-12 发布于四川
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本申请提供一种分配机构，用于将离子源的气化机构形成的饱和蒸汽分配至多个等离子体生成机构，分配机构包括：入口管，入口管上设置有气体入口，气体入口用于与气化机构连接以接收来自气化机构的饱和蒸汽；多个出口管，每个出口管上分别设置有一个气体出口，每个气体出口用于与一个等离子体生成机构连接以将饱和气体分配至等离子体生成机构，其中，多个出口管与入口管滑动连接，使多个出口管彼此之间的相对位置可调节。本申请的实施例还提供一种离子源。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116095934 A
(43)申请公布日 2023.05.09
(21)申请号 202211531695.7
(22)申请日 2022.12.01
(71)申请人 中国原子能科学研究院
地址 10
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