一种固态隔膜及其制备方法和设有其的气体传感器.pdfVIP

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2023-05-12 发布于四川
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一种固态隔膜及其制备方法和设有其的气体传感器.pdf

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本发明涉及传感器及其部件的技术领域，公开了一种固态隔膜，包括衬底和贵金属层，所述贵金属层交替复合在衬底上，所述贵金属层包括至少两种由单一贵金属原子组成的贵金属原子层；所述贵金属原子层通过原子层层积技术沉积于衬底上，形成上、下层叠且紧密结合的贵金属层，相邻两个材质不同的贵金属原子层保持各自原有的贵金属特性。本发明通过原子层沉积技术实现贵金属催化层的形成，其制备的贵金属层结构厚度可控，不影响气体的透过率，且催化活性极高，响应速度快，同时贵金属层在衬底上的附着优良，能在长期高温环境和高浓度电解液下测试

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114594150 A (43)申请公布日 2022.06.07 (21)申请号 202210100182.4 (22)申请日 2022.01.27 (71)申请人广州奥松电子股份有限公司地址 5