溅射靶及其制造方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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溅射靶及其制造方法.pdf

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本发明涉及能够将翘曲了的圆筒形基材用作构成材料的溅射靶及其制造方法，提供一种新型的溅射靶的制造方法，其中，即使圆筒形靶材的轴向长度较长，或者即使经过接合材料填充时的加热，也能够消除圆筒形基材的翘曲。本发明提出了一种溅射靶的制造方法，其特征在于，测定圆筒形基材的翘曲幅度，进行使圆筒形基材向与翘曲了的方向相反的方向翘曲的加工，在上述加工后的圆筒形基材的外侧，沿轴向隔开间隔地排列配置多个圆筒形靶材，用接合材料将上述圆筒形基材与上述圆筒形靶材接合。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114651086 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202080078115.6 (74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司