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一种测量信号在电路结构中的线路中传播的延迟时间的方法,该方法包括:通过带电粒子射束的脉冲来辐照线路,其中带电粒子射束的脉冲的脉冲重复频率是变化的。该方法还包括:对于脉冲重复频率中的每个脉冲重复频率,响应于通过带电粒子射束的脉冲以相应脉冲重复频率来辐照线路,测量次级带电粒子发射;并且响应于脉冲重复频率的变化,基于次级带电粒子发射来导出线路的延迟时间。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116057392 A
(43)申请公布日 2023.05.02
(21)申请号 202180062283.0 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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