中阶梯光栅衍射效率测试装置及方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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中阶梯光栅衍射效率测试装置及方法.pdf

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本公开提供了一种中阶梯光栅衍射效率测试装置，包括：激光光源模块，测试模块，探测模块，其中，测试模块包括分光器、准直镜、聚焦镜和转台，测试光束被分光器分为第一光束和第二光束，第一光束经过准直镜变为准直光入射至待测中阶梯光栅或待测平面镜，反射回准直镜聚焦至第一光电探测器，作为衍射光通量与参考光通量的测量结果，第二光束经过聚焦镜反射回分光镜后，聚焦至第二光电探测器，作为同步测量过程的测量结果，探测模块根据第一光电探测器和第二电探测器的探测值计算待测中阶梯光栅与待测平面镜之间的相对衍射效率，并可消除切换

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114646454 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202011522012.2 (22)申请日 2020.12.21 (71)申请人北京科益虹源光电技术有限公司地址