一种镜像电极束流控制的离子发生装置.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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一种镜像电极束流控制的离子发生装置.pdf

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本发明公开了一种镜像电极束流控制的离子发生装置，包括：阳极，所述阳极上设有进气孔；阳极的两端设有对称的刻蚀阴极和测量阴极，所述刻蚀阴极上设有第一电离腔及与其连通的第一离子通道；所述测量阴极上设有第二电离腔及与其连通的第二离子通道；由于刻蚀阴极和测量阴极是对称的，当从阳极的进气孔通入气体后，气体电离形成的离子会在电势作用下飞向左右两侧的阴极，由于从两阴极端飞出的离子束电流是一样的，刻蚀阴极端飞出的离子束电流用于抛光或者切割，测量阴极端的离子束电流进入法拉第杯中，通过法拉第杯间接测量用于抛光或切割的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114645277 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202210175769.1 (22)申请日 2022.02.24 (71)申请人贝光科技（苏州）有限公司地址 2