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本发明涉及坩埚与模具的清洗和干燥技术领域，尤其涉及一种清洗干燥装置，包括清洗箱、喷淋干燥箱、搬运横移组件和清洗架，清洗箱用以对待清洗的坩埚或模具进行清洗；喷淋干燥箱用以对待清洗的坩埚或模具进行喷淋干燥；搬运横移组件用以将待清洗的坩埚或模具搬运至清洗箱和喷淋干燥箱；清洗架用以放置待清洗的坩埚或模具，并由搬运横移组件进行搬运移动。通过搬运横移组件，对三个工位工序完成移动，集成化程度高，将超声波清洗、吹扫、烘干、冷却集于一体，占地空间小，可集成于其余设备上，无需单独空间；清洗烘干过程，全程无需人员参与
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116020798 A
(43)申请公布日 2023.04.28
(21)申请号 202310010307.9 B08B 3/12 (2006.01)
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