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本发明涉及一种具有缓存功能的晶圆传输装置，包括：传输轨道，包括多个间距相等且相互平行设置的传输辊；任意两个相邻的传输辊之间形成过道；缓存机构，包括升降驱动组件和缓存组件；升降驱动组件设置于传输轨道的一侧；缓存组件设置于传输轨道的两个侧壁之间；缓存组件包括至少两个竖直并列设置的支架组件，每个支架组件包括沿竖直方向依次设置的至少两个支撑部，至少两个支撑部均与过道的延伸方向平行，不同的支架组件之间的支撑部在水平方向上一一对应并列设置；每个支架组件均对应一个过道地设置。缓存机构与传输轨道布设紧凑，能够提
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115799139 A
(43)申请公布日 2023.03.14
(21)申请号 202310061925.6
(22)申请日 2023.01.17
(71)申请人 苏州桔云科技有限公司
地址 215
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