一种半导体工艺设备的物料调度方法和半导体工艺设备.pdfVIP

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2023-05-16 发布于四川
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一种半导体工艺设备的物料调度方法和半导体工艺设备.pdf

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本发明实施例提供了一种半导体工艺设备的物料调度方法和半导体工艺设备，半导体工艺设备包括多个模块，其中包括真空大气转换模块、工艺模块，该方法包括：根据物料的加工路径、各模块执行的任务、执行任务产生的动作顺序，生成当前物料对应的任务列表；设置求解模型的约束条件和求解目标；将任务列表输入求解模型，以使求解模型根据任务列表、约束条件和求解目标，计算并输出各个任务的开始执行时间和执行结束时间。从而实现结构布局更为复杂，工艺精度要求更高的设备的调度需求。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114757483 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202210257745.0 (22)申请日 2022.03.16 (71)申请人西安北方华创微电子装备有限公司地址