一种去胶方法及去胶设备.pdfVIP

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2023-05-18 发布于北京
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一种去胶方法及去胶设备.pdf

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本发明的实施例提供了一种去胶方法及去胶设备,该去胶方法包括：步骤一，在等离子产生室内中通入氧气；步骤二，向等离子产生室内通入第一气体；步骤三，将第一气体电离为第一等离子体；步骤四，将第一等离子体与载气装置通入的载气混合后通入去胶反应室；步骤五，在等离子产生室内通入氧气；步骤六，向等离子产生室内通入第二气体；步骤七，将第二气体电离为第二等离子体；步骤八，将第二等离子体与载气装置通入的载气混合后通入去胶反应室，其能够减轻等离子体对晶圆造成的损伤，提高产品良率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114850139 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210498065.8 (22)申请日 2022.05.09 (71)申请人无锡邑文电子科技有限公司地址 2