一种晶圆超临界干燥设备及干燥方法.pdfVIP

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2023-05-18 发布于北京
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一种晶圆超临界干燥设备及干燥方法.pdf

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本发明提供了一种晶圆超临界干燥设备及干燥方法，该设备包括：干燥桶；晶圆承载机构，用以承载晶圆；第一保护罩，其上开设有多个孔隙，晶圆承载机构在第一保护罩内；其中，干燥桶上设有进气口。本发明的干燥设备在干燥过程中，由于超临界流体不直接冲击在晶圆上，而是先经过第一保护罩，利用第一保护罩的孔隙，使得超临界流体均匀透过多孔的第一保护罩后再对晶圆进行干燥，这样可避免快速进入的超临界流体直接冲击晶圆而对晶圆造成损坏。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114864447 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210514681.8 F26B 25/18 (2006.01) (22)申请日 2022.05.