一种内置有晶圆姿态调整机构的超声清洗设备.pdfVIP

下载本文档

0
0
约9.56千字
约 11页
2023-05-18 发布于北京
举报
版权申诉

一种内置有晶圆姿态调整机构的超声清洗设备.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及超声清洗设备技术领域，且公开了一种内置有晶圆姿态调整机构的超声清洗设备，包括减速升降组件，所述减速升降组件的内部设有驱动齿轮，所述驱动齿轮的外壁啮合连接有减速齿轮，所述减速齿轮的外壁啮合连接有内齿盘。该内置有晶圆姿态调整机构的超声清洗设备，驱动齿轮通过减速齿轮带动内齿盘转动，避免清洗花篮升降和转动过程中速度过快，导致其损坏，此时内齿盘带动涡轴转动，进一步使得偏心盘带动升降板上下往复运动，此时支撑卡板顶部的清洗花篮也可以上下往复运动，此时驱动锥轮带动从动锥轮转动，进一步使得清洗花篮上下运

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114864449 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210529450.4 (22)申请日 2022.05.16 (71)申请人智程半导体设备科技（昆山）有限公