- 1、本文档共14页,其中可免费阅读13页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一种晶圆加工方法、系统及终端设备,方法包括:设置不同的输入变量,对晶圆进行磨削,其中,所述输入变量包括姿态调节参数、加工参数和磨削过程参数中的至少一个;测量磨削后的晶圆厚度,提取晶圆的面形特征作为输出变量;采用机器学习算法建立输入变量与输出变量之间的映射关系,得到面形预测模型。本发明能够得到晶圆磨削的面形预测模型,提高了预测的准确性和可靠性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114871886 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202111556934.X
(22)申请日 2021.12.18
(71)申请人 华海清科股份有限公司
地址 300
您可能关注的文档
- 一种用户数据报文的处理方法.pdf
- 制动管路泄露检测方法、汽车电子稳定系统和汽车.pdf
- 一种车辆控制装置.pdf
- 一种大容量电池.pdf
- 时钟校正方法、时钟数据恢复电路、芯片、接收端和终端.pdf
- 一种可降解环保塑料铅笔.pdf
- 一种铅笔切断装置.pdf
- 一种化学交联聚乙烯泡棉及其制备方法.pdf
- 清洁刷组件以及用于表面清洁装置的清洁头.pdf
- 表面清洁头以及表面清洁装置.pdf
- 《GB/Z 44363-2024致热性 医疗器械热原试验的原理和方法》.pdf
- GB/T 16716.6-2024包装与环境 第6部分:有机循环.pdf
- 中国国家标准 GB/T 44376.1-2024微细气泡技术 水处理应用 第1 部分:亚甲基蓝脱色法评价臭氧微细气泡水发生系统.pdf
- 《GB/T 44376.1-2024微细气泡技术 水处理应用 第1 部分:亚甲基蓝脱色法评价臭氧微细气泡水发生系统》.pdf
- GB/T 44376.1-2024微细气泡技术 水处理应用 第1 部分:亚甲基蓝脱色法评价臭氧微细气泡水发生系统.pdf
- 中国国家标准 GB/T 44315-2024科技馆展品设计通用要求.pdf
- GB/T 44305.2-2024塑料 增塑聚氯乙烯(PVC-P)模塑和挤塑材料 第2部分:试样制备和性能测定.pdf
- 《GB/T 44315-2024科技馆展品设计通用要求》.pdf
- GB/T 44315-2024科技馆展品设计通用要求.pdf
- GB/T 39560.9-2024电子电气产品中某些物质的测定 第9 部分:气相色谱-质谱法(GC-MS)测定聚合物中的六溴环十二烷.pdf
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新最新专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)