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本发明提供一种图像传感器及其制造方法,包括:提供衬底,衬底具有相对的第一表面和第二表面;衬底包括像素区域和逻辑区域,逻辑区域中包含比较器区域;在比较器区域靠近第一表面的衬底中形成比较器电路;比较器电路包括NMOS管和PMOS管,NMOS管和PMOS管各自都包括依次位于衬底上的栅氧化层和栅极;在比较器电路下方的衬底中形成深沟槽,并在深沟槽中填充高K介质层形成虚拟深沟槽隔离。通过在比较器电路下方的衬底中形成虚拟深沟槽隔离从而引入H离子,H离子和Si/SiO2悬挂键结合形成Si‑H键,降低衬底与栅氧化
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114883355 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210646192.8
(22)申请日 2022.06.08
(71)申请人 豪威集成电路(成都)有限公司
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