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本发明公开了一种等离子处理装置及其方法，所述等离子处理装置包含：一真空反应腔，所述真空反应腔的下方还设置一真空泵，用于将反应副产物排出所述真空反应腔，所述等离子处理装置包含：多个安装紧固件，其用于将所述真空泵固定在所述真空反应腔腔体上；至少一个缓冲装置，通过所述安装紧固件固定在所述真空泵和所述真空反应腔的腔体之间，所述缓冲装置设有形变空间，所述缓冲装置通过所述形变空间产生位移变形以吸收所述真空泵的部分动能。其优点是：在等离子处理装置突然发生故障时，缓冲装置可吸收较多的真空泵动能，使真空反应腔腔体
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112185788 A
(43)申请公布日
2021.01.05
(21)申请号 20191
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