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本发明公开了一种全差分高精度X轴硅微陀螺仪，包括质量块组、驱动单元、检测单元。驱动单元接收外部输入的电信号，产生静电力，驱动质量块沿X方向做简谐振动；质量块组中各质量块在作简谐振动的同时敏感外界绕Y轴的角速率，受到科里奥利力沿Z轴方向振动，在Z轴方向上产生位移；检测单元，将各质量块在Z轴方向上的位移，转换成电信号输出。质量块组采用全对称的四质量块结构设计，形成全差分输出，可以有效减小检测相对非线性误差，提高检测灵敏度，同时可减小外界因素对陀螺性能的影响，环境适应性强。驱动单元和检测单元采用机械解
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112284368 A
(43)申请公布日 2021.01.29
(21)申请号 202010997288.X
(22)申请日 2020.09.21
(71)申请人 北京航天控制仪器研究所
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