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本发明公开了一种石英坩埚半导体零件的清洗装置，包括清洗组件，清洗组件包括连接杆、支撑杆、放置槽、进气口、调节钉、软毛刷、斜出气口和竖出气口，连接杆右端面上下两固接两个平行的支撑杆，连接杆内壁中空贯穿放置槽，放置槽内壁右侧贯穿有若干个斜出气口，放置槽内壁上下两端沿轴心对称贯穿圆孔，圆孔内壁且靠近软毛刷端面竖直贯穿若干个竖出气口，竖出气口和斜出气口均贯穿支撑杆的侧壁，支撑杆右侧上下两端均采用螺纹连接竖直的调节钉，连接杆左侧采用销钉转动连接驱动组件，通过旋转调节钉，使调节钉在螺纹连接时，底端橡胶圆球的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112317375 A
(43)申请公布日 2021.02.05
(21)申请号 202011122867.6
(22)申请日 2020.10.20
(71)申请人 安徽应友光电科技有限公司
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