一种基于钌酸锶薄膜的光、热探测器及其制备方法.pdfVIP

下载本文档

3
0
约9千字
约 10页
2023-05-27 发布于四川
举报
版权申诉

一种基于钌酸锶薄膜的光、热探测器及其制备方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供了一种基于钌酸锶薄膜的光、热探测器及其制备方法，所述光、热探测器自下而上依次包括斜切基片、横向热电元件、金属电极以及与金属电极相连的用于输出电压信号的引线；所述横向热电元件是采用脉冲激光沉积技术在斜切基片上制备的c轴倾斜生长的钌酸锶薄膜，所述钌酸锶薄膜的厚度为20～200nm。本发明的钌酸锶薄膜热电元件灵敏度和响应度等探测性能优异，将其应用于制作宽波段光、热探测器，不仅具有灵敏度高和响应时间快等优异性能，还具有制备工艺简单和生产成本低的优点，在光、热探测器领域应用前景广阔。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111403587 A (43)申请公布日 2020.07.10 (21)申请号 20201