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金刚石NV色心光电传感器、阵列及其制备方法.pdfVIP

金刚石NV色心光电传感器、阵列及其制备方法.pdf

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    本发明提供了一种金刚石NV色心光电传感器、阵列及其制备方法，所述光电传感器包括金刚石衬底、外延生长在金刚石衬底表面的掺氮外延层、设置在掺氮外延层上表面的滤光膜和生长在滤光膜表面的光电传感器。所述制备方法为在金刚石衬底上首先制作产生NV色心的金刚石柱，然后进行平面填充后，制作滤光膜和光电传感器，最后将平面填充的的材料去除，得到金刚石NV色心光电传感器阵列。本发明制备的金刚石NV色心光电传感器实现了微小尺寸的集成和批量化生产。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112331724 B (45)授权公告日 2022.04.01 (21)申请号 202011134697.3 H01L 31/028 (2006.01)

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