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本发明涉及一种传动机构和高精度显微镜。其包括:传动机构、驱动装置和平台组件。所述驱动装置包括第一轨道、移动台以及驱动组件,所述移动台通过滑块安装在第一轨道上,所述驱动组件用于驱动所述移动台沿第一轨道移动,所述平台组件包括第二轨道和平台,所述第二轨道与第一轨道平行设置,所述平台通过滑块安装在第二轨道上,所述传动机构的第一件体安装在所述平台上,所述传动机构的第六件体安装在所述移动台上,且所述传动机构的第一轴、第二轴以及第三轴分别与所述第二轨道平行。所述传动机构包括多个运动副,所述传动机构通过各个运动
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112363310 B
(45)授权公告日 2022.04.15
(21)申请号 202011264958.3 审查员 黎代维
(22)申请日 2020.11.13
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