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本发明公开了提供一种硅基集成高速微盘电光调制器芯片，采用脊型波导微盘结构设计，使得微盘谐振腔具有的超小尺寸，并且能够直接利用标准硅光工艺制作侧向PN结，可以把光波限制在很小的范围内通过快速等离子体色散效应进行高效调制，利用这个特性可以实现结构简单和所需驱动功率很低的电光调制器，调制所需功耗更小，速度更快，并且器件结构紧凑，制作工艺与成熟的微电子CMOS工艺兼容。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112415788 A
(43)申请公布日 2021.02.26
(21)申请号 202011275841.5
(22)申请日 2020.11.16
(71)申请人 北京理工大学
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