原创力文档- 1、本文档共20页，其中可免费阅读19页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一种半导体器件及其制作方法中，第一开孔和待引出第一金属层沿第一晶圆的厚度方向在第一衬底上的投影无重叠；即形成第一开孔(TSV)的过程中不接触(暴露出)待引出第一金属层，本发明中的第一开孔(TSV)不同于常规工艺中的硅通孔(TSV)，避免了常规硅通孔(TSV)需要刻蚀停止在要引出的金属层上导致的金属层被过度损伤、溅射扩散等问题。所述待引出第一金属层分别通过第一再分布金属层和第一开孔中的第一互连层被引至第一晶圆厚度方向的上下两个端面上，第一晶圆形成双面开放式电连接结构，能够很好的与两侧键
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112420645 A
(43)申请公布日 2021.02.26
(21)申请号 202011279659.7
(22)申请日 2020.11.16
(71)申请人 武汉新芯集成电路制造有限公司
您可能关注的文档
- 一种袜子腰包机成形组件.pdf
- 一种秋季农用便于油炸的板栗开口设备.pdf
- 可脱粘的粘合剂及其用途.pdf
- 一种风冷与水冷结合的电子电路板生产用冷却设备.pdf
- 一种多线圈多负载远距离无线电能传输系统.pdf
- 一种纺织品定位标记设备.pdf
- 一种接触点可收藏防护的多功能集成工具.pdf
- 一种新能源汽车电池回收处理方法.pdf
- 一种基于双通道数据通信的智能灌溉装置.pdf
- 一种管廊渗水修复工艺.pdf
- 2024年企业人力资源管理师之二级人力资源管理师模拟考试试卷A卷含答案完整版720780578.pdf
- 2024年检验类之临床医学检验技术(师)全真模拟考试试卷B卷含答案优质 完整版720844645.pdf
- 2024年四川省成都市第七中学初中学校中考一模物理试题(解析版).pdf
- 2024年二级建造师之二建水利水电实务过关检测试卷B卷附答案 .pdf
- 2024年教师资格之中学思想品德学科知识与教学能力综合检测试卷A卷含完整版720848701.pdf
- 2024年教师信息技术2.0教研组研修计划(优秀模板6篇)(6) .pdf
- 2024年教师资格之幼儿综合素质通关提分题库及完整答案 .pdf
- 2024年心理咨询师之心理咨询师基础知识通关提分题库及完整答案完整版720794806.pdf
- 2024年消防设施操作员之消防设备初级技能题库附答案(典型题).pdf
- 2024年小学信息技术工作计划样本(三篇) .pdf
文档评论（0）