一种抛光液及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-31 发布于四川
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一种抛光液及其制备方法.pdf

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本申请涉及化学机械抛光领域，具体公开了一种抛光液及其制备方法，该抛光液由以下重量百分比的组分组成：改性纳米二氧化硅10‑25%；分散润湿剂6‑10%；缓蚀剂2‑5%；悬浮稳定剂1‑3%；三乙醇胺0.5‑2.5%；L‑酒石酸0.1‑1.5%和余量水。制备方法为：按照重量比预备原料，将分散润湿剂和改性纳米二氧化硅加入反应设备进行混匀润湿，再将剩余原料依次加入制得。本申请的抛光液主要用于半导体硅片材料抛光加工，通过将纳米二氧化硅改性，提升纳米二氧化硅在抛光液中的分散性能，复配优良的悬浮助剂，减少了半导

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115785822 A (43)申请公布日 2023.03.14 (21)申请号 202211537469.X (22)申请日 2022.12.02 (71)申请人深圳玖创精密科技有限公司地址 5