用于改善选择性沉积工艺中的选择性的预处理方法.pdfVIP

用于改善选择性沉积工艺中的选择性的预处理方法.pdf

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一种用于改善选择性沉积工艺中的金属的选择性的方法。用于金属的预处理工艺修饰金属表面，并且包括首先从金属去除有机污染物而还原金属，随后氧化金属以使金属氧化物的单层在表面上生长。该金属修饰使得抑制剂分子能吸附至金属氧化物的单层上，从而改善选择性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112567499 A (43)申请公布日 2021.03.26 (21)申请号 201980052566.X 亚力山大 ·R ·福克斯　

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