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一种无需退火的氧化物晶体生长方法,通过对反应物料进行重量补偿、通入流动气体、在降温过程中加大氧含量占比、在采用的温场装置中设置加热体,以及对工艺参数的优化,可以在一定程度上抑制晶体生长过程中的组分偏离、开裂以及形成氧缺位等问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112567006 A
(43)申请公布日 2021.03.26
(21)申请号 201980051053.7 (51)Int.Cl.
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