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本发明是一种感光性树脂组合物,其特征在于含有聚合性化合物(A)、光自由基聚合引发剂(B)、硫醇化合物(C)、以及聚合抑制剂(D),且所述硫醇化合物(C)的含量相对于所述聚合性化合物(A)100质量份而为5质量份~50质量份,所述聚合抑制剂(D)的含量相对于所述聚合性化合物(A)100质量份而为1质量份~10质量份。本发明可提供一种在明视场与暗视场两者中曝光量宽容度(EL)宽的感光性树脂组合物。可提供一种使用所述感光性树脂组合物能够在明视场与暗视场两者中精度佳地形成微细抗蚀剂图案的抗蚀剂图案的形成
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112585535 A
(43)申请公布日 2021.03.30
(21)申请号 201980052361.1 (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理
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