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一种制造半导体元件的方法,包含形成源/漏极接触开口延伸穿越至少一介电层,以曝露源/漏极结构的源/漏极接触区域。沿着源/漏极接触开口的侧壁和底表面和介电层上方沉积光阻挡层。执行激光退火制程以活化源/漏极接触区域内的掺杂物。在源/漏极接触开口内形成源/漏极接触结构。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112582269 A
(43)申请公布日
2021.03.30
(21)申请号 20201
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