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本发明公开了一种光学元件表面与亚表面缺陷的分类提取方法,针对光学元件同一成像区域的荧光和散射图像,首先选取特征点计算仿射变换矩阵,通过重采样和插值实现两幅图像空间位置的配准;然后提取两幅图像中缺陷区域的轮廓特征,根据荧光图像和散射图像中的缺陷在空间中重叠情况,标记不同缺陷的类型;最终分别输出延伸型亚表面缺陷、隐藏型亚表面缺陷和表面缺陷图像。本发明提供的方法可实现同时对不同类型缺陷的分类和提取,分别获得表征不同类型缺陷的图像;通过图像空间配准操作保证荧光和散射图像的成像区域一致,降低了硬件装调难度
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112581424 B
(45)授权公告日 2022.04.26
(21)申请号 202011156457.3 G06K 9/62 (2022.01)
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