原创力文档- 1、本文档共9页，其中可免费阅读8页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种具有超双疏性的复合凹角微米结构的制备方法，具体步骤为：在衬底表面蒸镀硅层，于表面旋涂光刻胶并固化，利用光刻工艺将掩模板图案传递至光刻胶，经过显影后，以图案化的光刻胶为刻蚀掩模，再利用深硅刻蚀工艺将光刻胶微米结构传递至硅基底，利用深硅刻蚀工艺特性及其对光刻胶与硅的选择性横向刻蚀，获得T型多层沟槽微米复合结构，在表面修饰1H,1H,2H,2H‑全氟癸基三氯硅烷单分子层后，即实现稳定的超疏水超疏油性能。所制得的纯微米复合凹角结构，具有优秀的超双疏性能和良好的耐磨性，制备方法简单适合批量生
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112624032 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 202011461537.X
(22)申请日 2020.12.14
(71)申请人 南京工业大学
地址
您可能关注的文档
- 车辆测试工况确定方法、装置及存储介质.pdf
- 一种铝导体铝护套纤维复合线增强电缆及其生产方法.pdf
- 一种消防水带接扣加工用夹持设备.pdf
- 一种便于维护的户外箱体.pdf
- 固定籽晶的装置、生长装置及晶体快速生长的方法.pdf
- 负载均衡方法及设备.pdf
- 单定子单转子低脉动转矩开关磁阻电动机及其驱动方法.pdf
- 一种一体化液位测量装置的结构.pdf
- 修整砂轮的金刚石滚轮烧结成型工艺.pdf
- 一种制作金刚石滚轮的上砂工艺.pdf
- 2024年企业人力资源管理师之二级人力资源管理师模拟考试试卷A卷含答案完整版720780578.pdf
- 2024年检验类之临床医学检验技术(师)全真模拟考试试卷B卷含答案优质 完整版720844645.pdf
- 2024年四川省成都市第七中学初中学校中考一模物理试题(解析版).pdf
- 2024年二级建造师之二建水利水电实务过关检测试卷B卷附答案 .pdf
- 2024年教师资格之中学思想品德学科知识与教学能力综合检测试卷A卷含完整版720848701.pdf
- 2024年教师信息技术2.0教研组研修计划(优秀模板6篇)(6) .pdf
- 2024年教师资格之幼儿综合素质通关提分题库及完整答案 .pdf
- 2024年心理咨询师之心理咨询师基础知识通关提分题库及完整答案完整版720794806.pdf
- 2024年消防设施操作员之消防设备初级技能题库附答案(典型题).pdf
- 2024年小学信息技术工作计划样本(三篇) .pdf
文档评论（0）