晶体生长设备的提拉系统及晶体生长设备.pdfVIP

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2023-06-03 发布于四川
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晶体生长设备的提拉系统及晶体生长设备.pdf

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本发明公开了一种晶体生长设备的提拉系统及晶体生长设备，提拉系统包括：固定支架、籽晶轴和密封组件。籽晶轴为刚性件，密封组件设在固定支架上且套设在籽晶轴的下端，籽晶轴相对密封组件可上下移动且绕籽晶轴的中心轴线可转动，密封组件与籽晶轴的外周面之间限定出适于容纳润滑油的润滑间隙，密封组件上形成有与润滑间隙连通的第一进口和第一出口，润滑油适于从第一进口进入润滑间隙，并适于从第一出口流出润滑间隙。根据本发明实施例的提拉系统，籽晶轴的旋转和提升更为稳定，有利于晶体中原子的排列和生长，并且籽晶轴下端的密封组件能

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112647124 B (45)授权公告日 2022.06.03 (21)申请号 202011353627.7 C30B 15/30 (2006.01)