原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种高声速高频高性能的窄带滤波器，包括：高声速材料衬底层、低声速材料层、高声速材料压电层、以及设在压电层上的电极。衬底层和低声速材料层共同形成布拉格反射层。压电层采用c轴单晶AlN,大幅提高了器件功率耐受性，低声速层采用特殊切向的LGS，利用LGS的弱压电特性，可以获得高声速高频高Q值窄带滤波器。同时单晶AlN与LGS二者热膨胀系数匹配，会提高二者之间的薄膜接合强度，高温时二者不易剥离。本发明实现了高工作频率、高功率、高Q值、低插损的滤波器。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112653421 A
(43)申请公布日 2021.04.13
(21)申请号 202011508259.9
(22)申请日 2020.12.18
(71)申请人 广东广纳芯科技有限公司
文档评论（0）