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本发明公开一种新型真空气压转换装置及晶片分选机，真空气压转换装置包括气路转换机构和真空流量检测接口电路，气路转换机构包括气压电磁阀和真空电磁阀，气压电磁阀的气压阀出气孔A通过第一气压阀机械通路与真空电磁阀的真空阀排气孔r连接，气压电磁阀的气压阀进气孔P通过第二气压阀机械通路与气压入口组件连接；真空电磁阀的真空阀出气孔a通过第一真空阀机械通路与真空气压转换出口组件连接，真空电磁阀的真空阀进气孔p通过真空入口机械通路连通有真空入口组件；真空入口机械通路上并联有真空旁路和微型真空流量开关；微型真空流量
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112648534 B
(45)授权公告日 2022.07.19
(21)申请号 202011405755.1 F16L 55/033 (2006.01)
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