一种晶体管及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-03 发布于四川
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一种晶体管及其制备方法.pdf

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本发明涉及一种晶体管及其制备方法，包括依次贴合连接的金属漏极、衬底和外延层以及嵌设于所述外延层的正面结构；所述外延层内设有金属夹层，所述正面结构从所述外延层的正面向内延伸至穿过所述金属夹层。通过在外延层内设置金属夹层，金属夹层作为杂质原子掺杂在外延层内，而且正面结构嵌设入外延层内后穿过金属夹层，因此杂质原子可以形成复合中心，复合中心使晶体管内的非平衡载流子的复合过程从传统的直接复合改变为间接复合，这样减少了载流子的复合时间，进而减小了晶体管的反向恢复时间。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112652661 A (43)申请公布日 2021.04.13 (21)申请号 20191