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具有通过将非同时地进行下述(a)和(b)的循环进行规定次数，从而在衬底上形成膜的工序：(a)从第1供给部向处理室内的衬底供给原料、并从设置在隔着衬底而与第1供给部相对的位置的排气口排气的工序；和(b)从第2供给部向处理室内的衬底供给反应体并从排气口排气的工序，在(a)中，从第3供给部向处理室内供给非活性气体，其中，该第3供给部设置在处理室内的区域中的、由俯视观察时连结第1供给部与排气口的直线的垂直平分线分隔的排气口侧的区域。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112655078 A
(43)申请公布日 2021.04.13
(21)申请号 201980053187.2 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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