一种具有类超晶格结构的选通管及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-03 发布于四川
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一种具有类超晶格结构的选通管及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种具有类超晶格结构的选通管及其制备方法，属于微纳米电子技术领域。该选通管包括衬底、以及依次层叠在衬底上的第一金属电极层、类超晶格层以及第二金属电极层，类超晶格层包括周期性交替层叠的n+1个第一子层和n个第二子层，第一子层的材料为非晶碳，第二子层的材料为具有选通性能的硫系化合物。第一子层的非晶碳作为缓冲层与第一金属电极层和第二金属电极层接触，可以阻止高温导致的具有选通性能的硫系化合物材料中的原子漂移，还可以避免引入新材料交叉污染。由于非晶碳的低热导率，本申请的选通管不仅能够保证选通管

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112652713 A (43)申请公布日 2021.04.13 (21)申请号 202011476276.9 (22)申请日 2020.12.15 (71)申请人华中科技大学地址