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本发明涉及一种真空微粒计数器，包括外壳，其具有沿z向贯穿外壳的测量孔，外壳的内部固定有：光入射部，用于发射激光并形成截面光强均匀分布的平顶光束，位于测量孔的一侧，包括沿x向依次排列的激光器、入射光学元件组和入射光阑，入射光学元件组包括沿x向依次排列的聚焦透镜、匀光棒和透镜组；光探测部，收集平顶光束被微粒散射而形成的散射光，并根据收集到的散射光探测微粒数量；光出射部，与光入射部相对位于测量孔的另一侧，用于吸收光入射部发出的激光中未被微粒散射的部分。本发明的真空微粒计数器，采用包含匀光棒的特殊入射光
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112630127 B
(45)授权公告日 2021.05.28
(21)申请号 202110257687.7
(22)申请日 2021.03.10
(65)同一申请的
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