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本发明涉及微光学技术领域,具体涉及一种双面微透镜阵列及其制备方法,其中的制备方法包括以下步骤:S1、在玻璃基板的双侧涂布光刻胶;S2、将涂好光刻胶的玻璃基板放置在光刻平台上;S3、使用光刻机进行曝光;S4、曝光后进行显影操作;S5、将显影后的玻璃基板放入恒温箱中;S6、通过图形转移方式将光刻胶图案转移到玻璃基板上。本发明的双面微透镜阵列及其制备方法,制作方便,制作成本低,数值孔径大,成像质量好。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112630873 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 202011638825.8
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 广东工业大学
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