一种检测设备及方法.pdfVIP

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2023-06-03 发布于四川
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一种检测设备及方法.pdf

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本发明提供一种检测设备，包括：第一照明组件，其被配置为向待测对象发射第一检测光束，其经待测对象散射形成至少一束信号光，包括第一信号光，且其中心轴线与待测对象表面具有锐角夹角；第一信号收集组件，包括第一探测支路，用于成像式收集第一信号光，并根据第一信号光形成第一检测信息，第一探测支路具有位于待测对象表面的第一探测区，第一探测区为线形，第一探测支路的第一探测器，第一探测器的感光面与第一探测区共轭，通过以上设置，使第一探测器的感光面与待测对象表面的第一探测区共轭，使得第一探测支路的第一探测器在待测对象

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112649445 A (43)申请公布日 2021.04.13 (21)申请号 201910961269.9 (22)申请日 2019.10.11 (71)申请人深圳中科飞测科技股份有限公司