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本发明涉及一种多层平面电磁线圈驱动的MEMS变形镜，包括多层电磁线圈、硅底座、反射镜、介质层、永久磁性材料层和封装外壳，所述多层电磁线圈，通过给多层电磁线圈通入电压使线圈产生的磁场逐渐加强，对变形镜进行操作，去掉电压后使变形镜回到最初位置，本发明采用了多层线圈的方法，使中心电极很容易引出和外部驱动电路互联，避免了传统单层平面线圈驱动的MEMS变形镜硅通孔及通孔上下互联的难题。传统工艺为了降低热阻，需要增厚线圈的厚度，在采用多线圈的方法，在满足厚度的情况下，单层线圈的厚度成倍降低，减少了LIGA技
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112630958 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 202110029372.7
(22)申请日 2021.01.11
(71)申请人 东莞理工学院
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