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本发明属于机械加工与检测领域，具体涉及气缸测厚仪。气缸位于V形块上，相对于导轨运动。探测杆上的探测头与孔壁接触或与孔壁之间有气膜。光发射装置安装于探测头上，位于孔内或孔外。气缸运动时，探测杆、探测头可绕第一运动副和第二运动副旋转，并引起光斑位置变化。第一运动副、第二运动副分别只有一个旋转自由度。仪器中设有节流阀、定压阀、放大阀，利用了气体连通与反馈的原理。探测杆脱离工件后位于缓冲机构或自然下垂。压缩气体流过探测头气孔和上支撑气孔。仪器光斑稳定、受外部光线强弱变化影响小、检测直径范围广、容易制造。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112648928 B
(45)授权公告日 2022.08.02
(21)申请号 201911004382.4 CN 109707371 A,2019.05.03
(22)申请日 20
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