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本发明针对具有源极/漏极外延堆叠件的半导体结构,该源极/漏极外延堆叠件具有低熔点顶层和高熔点底层。例如,半导体结构包括设置在鳍上的栅极结构和形成在鳍的未由栅极结构覆盖的部分中的凹槽。此外,半导体结构包括设置在凹槽中的源极/漏极外延堆叠件,其中源极/漏极外延堆叠件具有底层和顶层,该顶层具有比底层高的激活的掺杂剂浓度。本发明的实施例还提供了形成半导体结构的方法。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112687730 A
(43)申请公布日 2021.04.20
(21)申请号 202010644475.X
(22)申请日 2020.07.07
(30)优先权数据
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