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本申请公开了一种掩膜版的清洁装置，包括：观察摄像机，对掩膜版表面拍照，以获取掩膜版上异物的位置信息；氮气喷嘴，位于掩膜版表面的下方，根据异物的位置信息对掩膜版表面的异物进行吹扫；以及抽气装置，位于掩膜版表面的下方，从吹扫的异物处抽取氮气喷嘴喷出的氮气以去除掩膜版表面的异物并排出；控制单元，用于当观察摄像机拍摄到掩膜版上存在异物时，控制氮气喷嘴向掩膜版表面喷出氮气以及控制抽气装置从掩膜版表面抽取氮气。本申请采用定位清洁的方式，其吹扫范围更精确，在保持氮气喷嘴风压不变的前提下，减小了掩膜版受吹扫影响
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112731762 A
(43)申请公布日 2021.04.30
(21)申请号 202110115470.2
(22)申请日 2021.01.28
(71)申请人 长江存储科技有限责任公司
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