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本发明公开了基于PEMFC燃料电池金属双极板碳基薄膜镀膜设备，包括真空腔室、离子束清洗源和碳基薄膜磁控溅射源，具有可启闭装配的室门；真空腔室内具有转架以及设置于转架上用于定位待镀的燃料电池双极板的夹具，离子束清洗源用于发射离子束起弧辉光放电对清洁燃料电池双极板的待镀面进行清洁及改性，碳基薄膜磁控溅射源用于产生电磁场结合镀膜工艺气体产生辉光，并轰击附着于燃料电池双极板表面形成膜层。利用IONBEAM离子束对金属双极板进行表面清洗及表面改性的之后利用磁控溅射碳基薄膜镀膜源对金属双极板进行碳基薄膜镀膜
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115747737 A
(43)申请公布日 2023.03.07
(21)申请号 202211384630.4 C23C 14/54 (2006.01)
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