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一种多重蒸发源遮挡机构及薄膜蒸镀设备.pdfVIP

一种多重蒸发源遮挡机构及薄膜蒸镀设备.pdf

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    本发明涉及蒸镀工艺的领域，公开一种多重蒸发源遮挡机构及薄膜蒸镀设备，该多重蒸发源遮挡机构，包括：机架；沿第一方向错层设置在所述机架上的多个挡板组件，所述挡板组件包括一个或两个挡板，所述第一方向与所述挡板的遮挡面垂直；每一个所述挡板可沿第二方向移动地安装于所述机架，所述第二方向与所述挡板的遮挡面平行；用于驱动所述挡板动作的驱动装置；用于解决在自由使用蒸发源时，由于多个蒸发源各自分开的距离缩短，挡板移动时无法完全避开蒸发源的开口部的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112831753 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 20191

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