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本发明公开一种谐振式加速度计的数字闭环控制方法,包括:步骤一:采集加速度计内部的两组电容检测梳齿之间的电容值;步骤二:对采集到的电容值进行放大;并将放大后的电容值信号经过AD转换为电容值数字信号后输入FPGA模块;步骤三:FPGA模块对输入的电容值数字信号进行降噪处理;步骤四:对降噪后的电容值数字信号进行卡尔曼滤波,以预测FPGA模块处理周期总长之后的电容值理论相位;步骤五:FPGA模块将电容值理论相位滞后90度作为激励信号相位,并计算此时激励信号相位对应的激励信号幅值;步骤六:将激励信号幅值经
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115729136 A
(43)申请公布日 2023.03.03
(21)申请号 202211417393.7
(22)申请日 2022.11.11
(71)申请人 中国航空工业集团公司西安飞行自
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